박흥수 나노종합기술원장이 25일 오전 기자간담회서 기관 운영 방향에 대해 설명하고 있다. 임효인 기자

국내 나노·반도체 연구개발(R&D) 지원 선도기관 나노종합기술원이 설립 20주년을 맞아 수요자 중심의 나노팹 기능 재정립에 나선다.

나노종합기술원은 25일 기자간담회를 열고 5월 10일 열리는 20주년 기념행사와 앞으로의 기관 운영 방향에 대해 설명했다.

2002년 KAIST 나노종합팹 시설 구축사업 유치로 탄생한 나노종합기술원은 2004년 KAIST 부설 나노종합팹센터로 설립됐다. 2005년 나노종합팹시설을 완공하고 서비스를 시작해 2010년 나노기술 전문인력 양성센터로 지정됐다. 2012년 나노종합팹시설 구축사업을 종료 후부턴 자립 운영을 시작했다. 정부는 출연금을 지원했으며 부처 직할 연구기관으로 편입됐다. 나노종합기술원을 성장동력 확보를 위해 한미 나노기술 공동연구센터를 유치하고 2017년 바이오 융합플랫폼 기술을 구축했다.

이 같은 준비는 2019년 일본의 소재·부품·장비 수출 규제 때 빛을 발했다. 나노종합기술원은 국내 최초 12인치 반도체 소부장 테스트베드 구축을 추진해 2021년 서비스를 개시했다. 나노반도체 R&D 지원 대표기관으로 정립한 시기다.



20여년간 나노종합기술원의 역할은 비약적으로 커졌다. 서비스 이용 건수는 2005년 1720건에서 2023년 1만 8497건으로 10대 이상 늘었다. 장비이용건수는 2005년 2672건에서 2023년 3만 6010건으로, 이용기관 수는 106명에서 698명으로 증가했다. 이용기관 중 중소기업이 60%로 가장 많으며 이어 대학, 연구소, 대기업 순이다. 응용산업으로 분류하면 반도체 분야가 66%, 이어 소재 15%, 디스플레이 12% 등 순이다.

나노종합기술원 팹시설

앞으로 나노종합기술원은 기능 재정립을 통해 인프라 서비스 공급자로서 연구자 중심의 시설장비와 공정플랫폼 서비스 팹 운영 전략을 추진한다.

산업체를 대상으로는 12인치 소부장 성능평가와 패턴웨이퍼 등 테스트베드 서비스를 확대하고 실리콘 CMOS·MEMS 플랫폼 기반의 반도체 공정 응용 융합기술 개발과 스케일업 상용화 지원을 강화한다. 대학 등 연구계를 대상으로는 8인치 장비 기간 연구자 중심의 신소자 검증과 집적공정 플랫폼 등 융복합 특화공정, 인재양성 등 개방과 활용성을 고도화한다.

나노반도체 R&D 서비스 플랫폼 구축 방향으로 소부장 테스트베드 양상평가 시스템 고도화와 300mm 첨단 패키징 인프라 고도화, 차세대 진흥형 반도체 연구개발 융복합 플랫폼 구축, 응용 융복합 플랫폼 구축, 글로벌 첨단팹 국제협력 등을 제시했다.

박흥수 나노종합기술원장은 "올해로 20주년을 맞이해 의미가 크다. 앞으로 20년을 어떻게 살아갈 것인가 고민을 많이 하고 있고 이번 행사 때 보여주려고 하고 있다"며 "서비스를 이용할 고객이 없으면 국가 세금을 들일 이유가 없다. 앞으로 국내 기업, 학교, 연구소의 목소리를 잘 듣고 수요기업 지향형으로 갈 것"이라고 말했다.

20주년 기념행사는 대전컨벤션센터(DCC)서 열리며 유공자 표창과 비전 선포 등 1부 기념식에 이어 2부 국제포럼으로 구성된다. KAIST 김정호 교수를 비롯해 스웨덴 에바 올슨(Eva Olsson) 교수 등 국제 명사들의 주제강연을 준비한다. 임효인 기자

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